ハンドラのマルチカセット化

仕掛けられるキャリアの数を2→4キャリアにすることで、
48時間の段取り替え無しを実現しました。

特徴
・2カセット式から4カセットに増設
・N2ブロー機能内臓
・ガラスウェハ専用アライナー搭載