国産化・自社開発 XYガルバノメーターASSY 国産のデジタルガルバノモーターを使用して、入手が困難な海外製のガルバノスキャナを置き換えました。 信号処理用のFPGAボードも同時に設計製作しています。 高精度・高剛性チャックステージ ドライエア流量制御装置