合理化 ハンドラのマルチカセット化 仕掛けられるキャリアの数を2→4キャリアにすることで、 48時間の段取り替え無しを実現しました。 特徴 ・2カセット式から4カセットに増設 ・N2ブロー機能内臓 ・ガラスウェハ専用アライナー搭載 特注ウェハステージ製作 キャリアオートチェンジャー製作