国産化・自社開発 トリマーの大規模改修 XYテーブルに平面リニアモーター採用の従来機 稼働部のフォーサ(コイル)が修理不可能 8inchウェハ等で位置精度が悪い THK社製の高剛性特注ステージに載せ替え パッケージ工程でのレーザートリマー製作