国産化・自社開発 高精度・高剛性チャックステージ もともと華奢だった純正のチャックステージを高精度・高剛性のものに置き換えました。 Zθ軸にボールネジを採用しました。 また、構造を見直しメンテナンス性の向上を実現しました。 画像処理ボードの更新 XYガルバノメーターASSY